科技
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主动除振系统

名称: 主动除振系统

型号: STACIS? III

品牌: TMC

  • 详细信息

STACIS®III是最先进的主动振动抵消系统。采用先进的惯性振动传感器,复杂的控制算法,和最先进的压电执行器,STACIS通过连续测量地板活动,通过膨胀和收缩压电执行器来过滤掉外界环境带来的震动。

最初设计用于先进半导体工厂的高精密光刻,计量,以及精密检测等设备的隔震 。STACIS现在成了嘈杂环境中高灵敏仪器隔震的行业标准解决方案,包括但不限于半导体工厂,失效分析实验室,纳米技术研究,纳米制造设施和材料研究。

STACIS III系统包括一个新的改进型数字控制器DC-2020,配置全新双核处理器、以太网以及USB串行端口。这种新的先进控制系统提供用户一个易于使用的直观图形化用户界面(GUI)。

随着世界范围内数以百计的成功安装,STACIS成了振动敏感的高精密仪器最理想的振动抵消系统的代名词。

 

DC-2020 for STACIS III:
带有图形化用户界面的新一代STACIS数字控制器
STACIS® 系统标准配置DC-2020,用户无需单独选购。
STACIS® 系统安装在为客户定制设计的 TMC Quiet Island® 上subfloor ,为电子束光刻提供精密消震


 

STACIS® III特征及优点:
? 最新改进型DC-2020数字控制器,提供易于使用的图形用户界面
? 隔振开始于0.6赫兹,1Hz时达到40%至70%的隔离率
? 频率2赫兹和更高时,垂直和水平隔震率大于90%
? 降低基础设施的要求和建设成本,即使有较大外界震动设备也可正常运行
? 有效隔震范围,0.6赫兹到150赫兹
? 众多用户的广泛认可和肯定
? 6向自由度硬安装设计,无需空气悬架
? 强大的控制系统无需定期重新校准
? point-of-use设计方案,与客户现有隔振系统无缝兼容
? 随着外部环境改变,系统自动调节以适应不同外部震动情形
? TMC的STACIS®技术使用压电执行器主动消振
? 数字控制器与基于PC的图形用户界面(GUI)
? 改善陈旧设施的隔震能力,以适应先进精密设备要求
? 与各楼层高度和楼子的几何形状,晶圆厂兼容
? 提高客户产量,质量和成品率
? 符合RoHS标准
? 最宽的主动隔振带宽,最好的低频隔振效果
? 亚赫兹的主动震动消除,最主要在0.6-6Hz频段内的隔振
? 唯一的可堆叠式设计
? 主动硬式安装结构,而非软式悬。?薜推灯?:主动元件与刚性弹簧相连
? 被动弹簧滤除了来自Stacis传感器的负载谐振,需要的调谐非常少,甚至无需调谐
? 由于阻抗不匹配,可兼容仪器内部隔离器
? 大负载,可达 2000kg
? 市场是最先进的隔振系统

 

STACIS用户及应用领域:
1、微电子、半导体

?晶片检测

?显微光刻技术

?掩膜校准
2、科学研究、纳米技术

?SEM、TEM

?STEM、SPM

3、激光台

?生命科学、药物研发

4、工业应用

?精密加工


为什么要选择主动系统?
?从<1Hz开始强烈消除地面震动,气动平台在这一低频处无法起到有效的隔振
?提高吞吐量、质量、生产量
?更加细小特色的成像能力
?研究前沿
?比气动平台更稳定
?满足SEM标准地点安装参数的唯一解决方案
?使得新实验室及研究设备的工程造价更低


为何选择主动系统为何选择STACIS ?
?正中研究者、科学家、设计者、领导者的心声棗?#25105;需要尽可能最好的无震环境!?/SPAN>
?市场上最强劲的低频隔振系统。
?目前,所有的SEM厂商都公布了安装参数要求,其需要的震动参数需要主动隔振系统
?STACIS首次发明于 mid 1990s, 经TMC进一步发展,开发了数以千计的安装系统,这是隔振控制领域的领导者提供的可靠技术. 


STACIS相比气动隔离器刚性大400倍 ?

稳定时间作为对扰动的响应,由于独特的串联式设计,而大大缩短,理想应用于机械制造、动态负载、激光或者光源需要安装的独立刚性台面的情况下。


如下优势在业内都是无与伦比的 :
?STACIS的主动隔振带宽为 0.6Hz - 150Hz
?6个自由度的主动震动消除,在1Hz时隔振8-10dB 
?从2-3Hz时,隔振可达90% (20dB) 

专业的环境调查 :
1、安装前后的环境调查,包括震动、磁场、声波
2、安装后可提供环境系统体系认证

?完善的环境调查服务

?开具专业环境报告

?提供震动、磁场、声波检测及解决方案

?全球性覆盖。有求必应,博学多才

?TMC基于其广泛经验向用户推荐实用性方案 

?40多年的行业经验,业内的领导者

 

产品规格:

 

性能:



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